低介電常數(shù)聚有機硅涂料
聚有機硅電介質(zhì)涂敷材料是通過將特定的聚碳硅烷接受加熱或高能量處理產(chǎn)生具有低k介電性質(zhì)的交聯(lián)聚有機硅涂料來制備的。加熱過程包括多階段依次提高溫度的加熱步驟。所制備的聚有機硅聚合物能夠用作電介質(zhì)互連材料和膜涂層，用于半導(dǎo)體器件中導(dǎo)電布線。這些聚有機硅膜涂層還具有相對熱穩(wěn)定性和對基片表面的優(yōu)異粘合性的附加特性。
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