生產(chǎn)絕緣膜的涂料
本發(fā)明涉及一種生產(chǎn)絕緣膜的涂料組合物，一種使用該涂料組合物制備低電介絕緣膜的方法，由其得到的用于半導(dǎo)體器件的低電介絕緣膜和包括該絕緣膜的半導(dǎo)體器件，更具體地說(shuō)，本發(fā)明涉及一種生產(chǎn)具有低電介常數(shù)絕緣膜而且能夠生產(chǎn)優(yōu)異機(jī)械強(qiáng)度(彈性)絕緣膜的涂料組合物，使用該涂料組合物制備低電介絕緣膜的方法，由其得到的用于半導(dǎo)體器件的低電介絕緣膜，和包括該絕緣膜的半導(dǎo)體器件。本發(fā)明的涂料組合物包括小分子量的有機(jī)硅氧烷樹(shù)脂和水，可顯著改進(jìn)絕緣膜的低介電性和機(jī)械強(qiáng)度。
